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AXIS-ULTRA DLD是實(shí)時(shí)成像XPS的產(chǎn)品 -空間分辨率小于3μm-
能夠與多種測(cè)定技術(shù)集成 AXIS-ULTRA DLD標(biāo)準(zhǔn)配備了具有多個(gè)國際標(biāo)準(zhǔn)窗口的樣品處理室,作為樣品的前處理腔,功能*且擴(kuò)展性強(qiáng)。能夠?qū)?yīng)樣品加熱制冷及具有反應(yīng)功能的樣品反應(yīng)池,多樣品停放器等許多選購件。樣品分析室可以增加UPS、FE-AES、ISS等分析方法,可以組合成復(fù)合分析裝置。
延遲線探測(cè)器(DLD)系統(tǒng) 采用了研發(fā)的延遲線探測(cè)器。既可以生成譜圖又可以生成圖像。各測(cè)定模式均可以提供正確的脈沖計(jì)數(shù)。不僅可以在描譜儀模式下,通過128個(gè)檢測(cè)通道提供高靈敏度的測(cè)定,還可以不通過分析器的能量掃描,利用快速非掃描的“快照”譜儀模式瞬間測(cè)定窄掃描譜。成像模式能夠提供256×256像素、空間分辨率小于3μm的高分辨率圖像。
平行成像和微區(qū)譜圖 采用平均半徑達(dá)165mm的大型靜電半球分析器與成像專用的球鏡分析器(Kratos)組合的合成分析器。在進(jìn)行化學(xué)狀態(tài)分析、深度方向分析等的譜儀分析時(shí),通過大型靜電半球分析器能夠提供高能量分辨率、高靈敏度的測(cè)定。多點(diǎn)微區(qū)測(cè)定時(shí)利用輸入透鏡內(nèi)的光電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確的點(diǎn)分析。 利用球鏡分析器進(jìn)行平行成像。光電子成像的空間分辨率小于3μm,能夠在譜儀測(cè)定的同時(shí),極短時(shí)間內(nèi)得到高分辨率圖像。
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