| 參考價(jià) | ￥10-￥280/臺(tái) |
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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時(shí)也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作， 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。
應(yīng)用方向：科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢： 高性能薄膜制備
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸
★沉積材料：包括并不限于硅基（Si）薄膜、碳基（C）薄膜、硅鍺合金（SiGe）、鎢硅合金（WSi2）、W、SiC。
★沉積腔體：高真空系統(tǒng)
★沉積不均勻性：±3%-±6%
★沉積速率：20-600nm/min（視具體材料與工藝）
★工作臺(tái)：可升降，高度可調(diào)
★加熱：常規(guī)加熱，可選高溫加熱
★電源配置：射頻；直流偏壓
★氣路數(shù)量與種類：標(biāo)配4路氣路 或 用戶選配
★光學(xué)性能監(jiān)測：可選配橢偏儀在線監(jiān)測系統(tǒng)
★漸變折射率薄膜制備：可選配快速流量變化與控制系統(tǒng)
★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制
類似產(chǎn)品：帶預(yù)真空室（PECVD-8100）
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