| | LT2.100 | LT2.200 | LT2.300 | | 運(yùn)動(dòng)范圍XY(µm) | 100 | 200 | 300 | | 分辨率XY(nm) | 0,1 | 0,2 | 0,3 | | 典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm) | 0,01 | 0,02 | 0,03 | | 的重復(fù)性XY(nm) | 0,2 | 0,4 | 0,6 | | 線性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% | | 諧振頻率X / Y(Hz) | 500/400 | 400/350 | 300/250 | | 剛度 (N/µm) | 0,6/0,5 | 0,5/0,4 | 0,4/0,3 | | 負(fù)載(kg)-水平使用 | 1 | 1 | 1 | | 負(fù)載(kg)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | | 傳感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | | 尺寸W x L x H (mm) | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 | 155,5 x 152,5 x 15,5 | | 材料 | Al or Invar | Al | Al | | 電纜長(zhǎng)度(m) | 2 | 2 | 2 | | 推薦控制器 | Standard | Standard | Standard | | |