| 類別 | 描述 |
| 氣浮重力補償垂向臺（ALGZ-60a Stage） | 平臺特性
平臺概要 氣浮重力補償垂向臺采用了高精度的防蠕變交叉滾柱導軌設計思想。能實現(xiàn)垂向高精度、高剛度直線運動。其中采用了氣浮重力補償技術，具有降低垂向電機的載荷，極大的提高垂向運動性能和壽命的功能。可廣泛應用于半導體、平板顯示、光纖對準、生物醫(yī)藥等領域。 |
| 磁浮重力補償垂向臺（MZ-10 Stage） | 平臺特性
平臺概要 磁浮重力補償垂向臺采用緊湊扁平的輪廓尺寸設計思想。垂向采用了大行程磁浮重力補償技術，具有降低垂向電機的載荷，極大的提高垂向運動性能和壽命的功能。可實現(xiàn)高精度上下方向定位的升降。垂向可提供高剛度機械導軌和高性能氣浮導軌選項。氣浮導軌可提供更高精度的雙向重復性能?？蓮V泛應用于晶圓生產(chǎn)控制應用，例如薄膜計量、關鍵尺寸檢查等。 |
| 重載垂向臺（MTZ-25 Stage） | 平臺特性
平臺概要 重載垂向臺系列平臺采用創(chuàng)新楔形機構的設計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。通過高剛度導柱和高精度絲杠結構，使得平臺具有的定位精度、重復定位精度和大負載能力?？蓮V泛應用于半導體、平板顯示、光纖對準等領域。 |
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光譜
垂向臺（Lift and Z Stage） 產(chǎn)品信息
