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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

GTCK-800磁控濺射鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/8/14 12:40:20
  • 訪問(wèn)次數(shù)106
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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  成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司成立于2013年6月,公司總部位于四川省成都市,分公司分別位于廣東省東莞市、福建省福州市及安徽省合肥市,現(xiàn)設(shè)立有研發(fā)中心、生產(chǎn)車(chē)間、長(zhǎng)春理工大學(xué)聯(lián)合研究中心及薄膜實(shí)驗(yàn)室。公司生產(chǎn)車(chē)間總面積20000余平方米,綜合年產(chǎn)能已擴(kuò)至500臺(tái)套。公司目前在職員工120余人,其中專(zhuān)業(yè)從事技術(shù)研發(fā)人員18人,高級(jí)工程師6人,工程師12人。公司生產(chǎn)管理和技術(shù)經(jīng)驗(yàn)豐富,秉承“以誠(chéng)為本,以質(zhì)取勝,精益求精,追求”的經(jīng)營(yíng)理念,經(jīng)過(guò)多年快速穩(wěn)定發(fā)展,我公司已成為國(guó)內(nèi)的真空設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、營(yíng)銷(xiāo)和服務(wù)為一體的專(zhuān)業(yè)化企業(yè)?! 〕啥紘?guó)泰真空設(shè)備有限公司主要管理、技術(shù)、經(jīng)營(yíng)和裝配人員具有多年真空產(chǎn)品生產(chǎn)管理和技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。我們致力于為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和優(yōu)秀的售前、售中和售后服務(wù)。以較強(qiáng)的技術(shù)力量與新穎的經(jīng)營(yíng)理念同國(guó)內(nèi)大學(xué)和實(shí)力雄厚的企業(yè)合作,形成了強(qiáng)大的成套設(shè)備設(shè)計(jì)、加工和配套的能力。企業(yè)在新生力量下不斷壯大規(guī)模,我們有信心在真空行業(yè)做的更好!
鍍膜機(jī)
GTCK系列磁控濺射鍍膜設(shè)備為單體濺射鍍膜機(jī),多臺(tái)分子泵提供優(yōu)良的真空條件,提供穩(wěn)定的濺射條件。
GTCK-800磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

GTCK系列磁控濺射鍍膜設(shè)備為單體濺射鍍膜機(jī),多臺(tái)分子泵提供優(yōu)良的真空條件,提供穩(wěn)定的濺射條件。

 

設(shè)備特點(diǎn):

腔體尺寸φ1200-φ2000mm

使用陽(yáng)極層離子源/無(wú)柵射頻ICP系統(tǒng)

通過(guò)ACS全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜過(guò)程

工件架為多片掛架式/行星結(jié)構(gòu)

無(wú)油排氣系統(tǒng)可定制

成膜過(guò)程及狀態(tài)可多角度觀察

 

GTCK-800主要規(guī)格參數(shù):

真空腔室尺寸 SUS304 φ800mmx900mm(H)
工件架 多片掛架式裝配結(jié)構(gòu)
工件架尺寸 φ650x500
基板回轉(zhuǎn)速度 3r/min-30r/min(可變)
反應(yīng)速率控制方式 反應(yīng)速率控制Speedfol/直接反應(yīng)
濺射源 旋轉(zhuǎn)/平面陰極、中頻/直流
膜厚控制 晶控控制/時(shí)間累計(jì)控制
離子源 陽(yáng)極層離子源/RF-ICP
真空排氣 機(jī)械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵

 

基本性能:

極限真空 2.5x10-4Pa
排氣時(shí)間 大氣-4.0x10-3Pa/15min/常溫空載
基板溫度 150℃

 

工作條件:

空間要求 約2.8m(寬)x2.6m(深)x2m(高)
電源要求 3相5線380v50Hz、約45kw
冷卻水要求 60L/min、0.2-0.3MPa、10-35℃
壓縮空氣 0.6MPa
設(shè)備重量 約2000kg
關(guān)鍵詞:鍍膜機(jī) 低溫泵
15700106413
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