SHL系列位移臺(tái)是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)處理重載的。機(jī)械設(shè)計(jì)是基于驅(qū)動(dòng)楔塊,保證了位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)分辨率。分離式導(dǎo)軌確保了沿負(fù)載方向的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),并允許集成位置傳感器,用于直接位置反饋和閉環(huán)操作。該位移臺(tái)應(yīng)用是純垂直運(yùn)動(dòng),用于升舉器件或者設(shè)備,其甚至可配備有額外的恒力彈簧用于增加載重值。用于部件或設(shè)備的純垂直運(yùn)動(dòng)的級(jí)可以配備額外的恒力彈簧,以將有效載荷偏移到更高的值。因此,納米編碼的臺(tái)子可以在數(shù)毫米的范圍內(nèi)升舉10kg的物體。




| 型號(hào) | SHL-1D20N-10 | SHL-1D80N-1 | SHL-3D5N-5 | SHL-5237-1D10N-10 |
| 自由度 | 1 | 1 | 3 | 1 |
| 行程 | 10mm | 1mm | 5mm | 10mm |
| 閉環(huán) 分辨率 | < 1 nm | |||
| 速度 | 5mm/s | 1mm/s | 5mm/s | 4mm/s |
| 垂直 負(fù)載 | 20N | 80N | 5N | 10N |
| 體積 | 65x75x50mm3 | 41x86x50mm3 | 100x140x40mm3 | 52x52x37mm3 |
| 重量 | 400g | 340g | 650g | 460g |
| 可選閉環(huán)傳感器S | ||||
| 傳感器 分辨率 | 1nm(MCS2) | |||
| 重復(fù) 精度 | 100nm(MCS2) | |||
| 可選閉環(huán)傳感器L | ||||
| 傳感器 分辨率 | 4nm(MCS2) 500nm (HCU) | |||
| 重復(fù) 精度 | 200nm(MCS2) ± 1 µm (HCU) | |||




