規(guī)格說明
| ● 驅(qū)動(dòng)方式:磁耦合 | ● 適用于10-11 mbar超高真空環(huán)境 | ● 烘烤溫度:150°C(移除電機(jī)及其組件) |
| ● 旋轉(zhuǎn)范圍:360°(可連續(xù)旋轉(zhuǎn)) | ● 材質(zhì):超高真空兼容材料 | ● 上端安裝法蘭:CF法蘭,螺紋孔 |
| ● 下端安裝法蘭:CF法蘭,通孔 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 中空磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)(HSR) | ||||
| 安裝法蘭 | CF35 | CF63 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 70 | 114 | ||
| 英寸 | 2.75 | 4.5 | |||
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 360° | 360° | |||
| 脫耦力矩 | 6N·m | 15N·m | |||
| 驅(qū)動(dòng) | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī) | 手動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī) | |
| 分辨率 | 1° | 0.01° | 1° | 0.001° | |
| 重量 (kg) | 3.0 | 5.0 | 6.9 | 8.0 | |
| 型號(hào) | HSR35M | HSR35A | HSR63M | HSR63A | |
| 訂購編碼 | 3040100001 | 3040100002 | 3040100003 | 3040100004 | |





