復(fù)合磁場(chǎng)ARC8電弧工模具真空鍍膜機(jī) 是針對(duì)小型模具、刀具、銑刀、鉆頭等產(chǎn)品開發(fā)的真空鍍膜機(jī),采用8個(gè)直徑150mm的弧源組成,磁場(chǎng)設(shè)計(jì)為永磁和電磁復(fù)合磁場(chǎng),膜層組織細(xì)膩,顆粒小,弧斑運(yùn)動(dòng)速度更快、實(shí)現(xiàn)高效沉積。
具體技術(shù)規(guī)格如下:
| 真空室尺寸 | ?1100mm * H1000mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr(常態(tài)) |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 3*3*2.5m3 |
| 真空室 | 304不銹鋼,單層內(nèi)襯,五年質(zhì)保 |
| 抽氣系統(tǒng) | 進(jìn)口分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測(cè) | 英??礐DG045D薄膜規(guī) |
| 流量控制 | Brooks/MKS/AE/匯博隆可選 |
| 轉(zhuǎn)架 | 可拉出下轉(zhuǎn)架 |
| 磁控濺射 | 平面濺射靶安裝孔位兩個(gè)(可選配) |
| 陰極電弧 | 4組(8套)(靶材規(guī)格150*20) |
| 偏壓電源 | 德國(guó)霍廷格偏壓Huettinger Bias 36KW |
| 加熱系統(tǒng) | 500度,3根熱電偶監(jiān)測(cè) |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關(guān),智能控制 |
| 電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。 |







