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在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密儀器等技術(shù)領(lǐng)域快速發(fā)展的時代背景下，潔凈室作為控制環(huán)境污染的核心基礎(chǔ)設(shè)施，其空氣質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)良率乃至生命安全。隨著芯片制程不斷向納米級演進(jìn)，哪怕0.1微米的微小顆粒附著在晶圓表面，都可能導(dǎo)致電路短路、擊穿等致命缺陷，造成巨額經(jīng)濟(jì)損失。

工業(yè)潔凈室多點(diǎn)位塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)是一款專門應(yīng)用于潔凈環(huán)境的潔凈度監(jiān)控和微粒子計(jì)數(shù)檢測等領(lǐng)域的精密測試儀器?？梢暬O(shè)計(jì)使得操作者能夠便捷地進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)試，極大地提升了使用體驗(yàn)。其次，儀器在穩(wěn)定性方面表現(xiàn)出色，能夠在長時間運(yùn)行中保持穩(wěn)定的測量性能。此外，測量精度高也是其一大亮點(diǎn)，能夠?yàn)橛脩籼峁┛煽康臄?shù)據(jù)支持。在體積和重量方面，該儀器設(shè)計(jì)緊湊，體積小巧，重量輕便，便于攜帶和安裝，不會給使用者帶來額外的負(fù)擔(dān)。

工作原理

基于光散射原理作為其核心理論基礎(chǔ)，這一原理利用光與塵埃粒子相互作用時產(chǎn)生的散射現(xiàn)象，空氣中的塵埃粒子在光照射下發(fā)生散射，散射光的強(qiáng)度隨粒子的表面積增加而增大，根據(jù)測定的散射光強(qiáng)度推知粒子的大小。

結(jié)合良好的光電傳感技術(shù)，融合高靈敏度的光電探測器和精密的信號處理算法，能夠高效、準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)對塵埃粒子粒徑的精確檢測。同時，該技術(shù)還能夠?qū)αＷ訑?shù)量進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)數(shù)，通過高精度的計(jì)數(shù)算法和實(shí)時數(shù)據(jù)處理能力，確保在復(fù)雜環(huán)境中也能準(zhǔn)確統(tǒng)計(jì)塵埃粒子的數(shù)量。

工業(yè)潔凈室多點(diǎn)位塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)特點(diǎn)

高精度傳感器，計(jì)數(shù)準(zhǔn)確，符合JJF1190-2008規(guī)范；

支持拓展成0.3um、0.5um、1um 、3um、5um、10um 6個粒徑檔監(jiān)測；

2.4寸智能觸摸屏，快速響應(yīng)、人機(jī)交互，實(shí)時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)；

支持根據(jù)要求進(jìn)行定制化顯示界面；

儀器內(nèi)置真空源，震動小、噪音低、性能穩(wěn)定；

支持在屏幕上直接自行設(shè)定儀器地址，便于現(xiàn)場替換；

屏幕數(shù)據(jù)報(bào)警，帶流量傳感器實(shí)時監(jiān)測流量并對流量進(jìn)行實(shí)時自調(diào)節(jié)；

采用日本進(jìn)口半導(dǎo)體激光源，壽命大于30000小時（需每年標(biāo)定）；

RS485通訊，支持ModbusRTU協(xié)議，支持定制化通訊協(xié)議；

可增加無線天線，升級為無線傳輸方式（選配）；

支持智能物聯(lián)，遠(yuǎn)程啟動，提高潔凈度監(jiān)測質(zhì)量。

產(chǎn)品參數(shù)