氟化物氣體檢測機構(gòu) 氣體純度檢測報告
【檢測范圍】
類型：氟化硅、氟化碳、氟化氮等各類氟化物氣體
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造、化工合成、電子蝕刻、冶金加工、太陽能電池生產(chǎn)
樣品類型：成品氟化物氣體、氣體原料、生產(chǎn)過程尾氣、批次抽檢樣品
【檢測標準】
GB/T 14602-2014 《電子工業(yè)用氣體 》
GB/T 15909-2018 《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
GB/T 24467-2009 《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
GB/T 34283-2017 《電子工業(yè)用氣體 四氟化碳》
GB/T 6682-2008 《分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法》
【檢測方法】
純度檢測：氣相色譜法、質(zhì)譜法測定氟化物氣體純度
雜質(zhì)檢測：離子色譜法測定微量雜質(zhì)，原子吸收分光光度計測定重金屬雜質(zhì)
腐蝕性：腐蝕試驗測定氣體對金屬、非金屬材料的腐蝕程度
理化性能：密度、沸點、熔點、臨界溫度、臨界壓力測定
【檢測項目】
純度指標：氟化物氣體含量、雜質(zhì)氣體含量
雜質(zhì)指標：水分含量、重金屬含量、氯離子含量、其他有害雜質(zhì)含量
理化性能：密度、沸點、熔點、臨界參數(shù)
安全指標：腐蝕性、毒性、爆炸性
清析技術(shù)研究院可提供分析、檢測、測試、鑒定、研發(fā)等技術(shù)服務(wù)，服務(wù)領(lǐng)域涵蓋材料、化工、環(huán)境、食品、農(nóng)產(chǎn)品等。資質(zhì)齊全，具備CMA、CNAS、CATL等資質(zhì)證書。實驗室設(shè)施完備，建有色譜分析室、光譜分析室、無機預(yù)處理室、熱處理室、有機預(yù)處理室；配置有HS-GCMS、PY-GCMS、GC-FID/ECD/TCD、ICP-OES、AAS、UV、金相顯微鏡、MICRO-IR、LC、XRF等儀器。我院總部位于北京，全國在上海、廣州、深圳、合肥、南京、成都、武漢、杭州、天津、濟南、鄭州、西安、沈陽等地區(qū)設(shè)立29家分院，擁有超過500名專業(yè)技術(shù)人員，20000㎡以上的實驗及辦公場地。每年出具超過20000份報告，累計服務(wù)客戶45000多家，并且我院環(huán)境事業(yè)部入選第三次全國土壤普查檢測實驗室名單。直屬機構(gòu)安徽清析司法鑒定所獲批頒發(fā)的司法鑒定許可證、并通過司法鑒定科學(xué)研究院34項能力驗證。
【儀器設(shè)備】
現(xiàn)配有X射線熒光光譜儀（XRF）、阿貝折射儀、閉口閃點自動測定儀、紅外光譜儀（IR）、火焰光度計、快速溶劑萃取儀、電感耦合等離子體光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、頂空氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(HS-GCMS）、捕集阱頂空-氣質(zhì)聯(lián)用儀(PT-GCMS)、恒溫恒濕系統(tǒng)、離子色譜儀（IC)、氣相色譜儀（GC）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（GCMS）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（熱裂解）GC-MS(PY)、熱脫附-GCMS、示波極譜儀等、天平、微波消解儀、顯微紅外光譜儀（FT-IR）、顯微鏡、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、液相色譜串聯(lián)質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、紫外可見分光光度計（UV)、液相色譜儀、原子熒光（AFS）、熒光白度計、原子吸收光譜（AAS)。
【資質(zhì)證書】
已獲得檢驗檢測機構(gòu)資質(zhì)認定證書（CMA資質(zhì)證書）、中國合格評定國家認可委員會實驗室認可證書（CNAS資質(zhì)證書）、農(nóng)產(chǎn)品質(zhì)量安全檢測機構(gòu)考核合格證書（CATL資質(zhì)證書）、質(zhì)量管理體系、環(huán)境管理體系、職業(yè)健康安全管理體系認證證書等資質(zhì)證書。直屬機構(gòu)安徽清析司法鑒定所獲批頒發(fā)的司法鑒定許可證、并通過司法鑒定科學(xué)研究院34項能力驗證。
【服務(wù)客戶】
我院每年出具超過20000份報告，累計服務(wù)客戶45000多家，客戶類型包含公司單位、高校及科研院所、500強企業(yè)、跨國公司等。
