晶圓制造Baker Hughes Veridri露點(diǎn)儀
應(yīng)用
VeriDri是一款回路供電的露點(diǎn)溫度或PPMv濕度變送器，適用于OEM 應(yīng)用，例如： • 再生式干燥空氣或氣體干燥機(jī) • 塑料干燥應(yīng)用 • 空氣干燥器 • 手套箱監(jiān)測
功能 • 低成本 • 薄膜氧化鋁濕度傳感器技術(shù) • 基于微處理器的全數(shù)字技術(shù)，運(yùn)行可靠 • 體積小巧 • 類型4X/IP67 • 回路供電4至20 mA輸出 • -130°F至70°F（-110°C至20°C）露點(diǎn)溫度/0至10,000 PPMv水分 （恒壓）整體范圍能力 • 美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）可追溯校準(zhǔn)
濕度傳感器技術(shù) VeriDri將氧化鋁濕度傳感器與軟件和電子設(shè)備相結(jié) 合，具有良好的整體性能。
晶圓制造Baker Hughes Veridri露點(diǎn)儀
濕度范圍
• -110°C至20°C
• -110°C至-50°C
• -90°C至10°C
• -80°C至20°C
• -80°C至-30°C
• -30°C至20°C
• -130°F至70°F
• -130°F至-40°F
• -40°F至70°F
• -100°F至0°F
• -50°F至50°F
• 0至10 PPMv
• 0至100 PPMv
• 0至1000 PPMv
• 0至10,000 PPMv PPMv范圍基于下單時(shí)提供的恒定壓力。
工作溫度 -40F°至140°F（-40°C至60°C）
儲(chǔ)存溫度 <溫度158°F（70°C）
熱身時(shí)間 在3分鐘內(nèi)達(dá)到規(guī)定的準(zhǔn)確度
精 • ±3.6°F（±2°C）以上-148°F（-100°C）
• ±5.4°F（±3°C）以下-148°F（-100°C）
重復(fù)性 • -148°F（-100°C）以上±0.4°F（±0.2°C）
• ±0.9°F（±0.5°C）低于-148°F（-100°C）
電氣 • 7至28 VDC（回路供電，客戶自備）
• 輸出：4至20 mA
• 輸出分辨率：0.01 mA
• 循 環(huán) R = 50 x（PSV-7）W（ 其 中 ： PSV =電源電壓）
示例：給定一個(gè)24 VDC電源，回路R = 50 x（24 - 7） = 850 W • 電纜：6英尺（2米），標(biāo)準(zhǔn)長度（定制長度請(qǐng)咨詢工廠）
機(jī)械
樣品連接 • 3/4英寸（19 mm）16直通式外螺紋，帶O形環(huán)
• G 1/2，帶可選適配器 操作壓力 5 µHg至5000 psig（345 bar） 附件 4X型，IP67 尺寸
• 總體：6.76英寸×1.13英寸（直徑172毫米×29毫米）
• 帶電纜的電子元件：直徑4.08英寸x 1.13英寸(104毫米x 29毫米）
• 重量：5盎司(140克）
流速 氣體：在1 atm下靜止或線速度為10,000 cm/s
歐洲的合規(guī)性 符合EMC指令2004/108/EC和PED 97/23/EC，DN<25
