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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司
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AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

參考價(jià) 400000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)北京杜克泰克科技有限公司
  • 品       牌杜克泰克
  • 型       號(hào)阿瑞斯-μV
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2026/6/10 16:43:54
  • 訪問(wèn)次數(shù)2852
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北京杜克泰克科技有限公司,是一家專(zhuān)注于痕量級(jí)微量級(jí)氣體、液體、固體等介質(zhì)含量分析的科技公司,尤其是光聲光譜技術(shù)(PAS)、傅里葉紅外光譜技術(shù)(FTIR)、紫外差分吸收光譜等光電技術(shù)的應(yīng)用,致力于環(huán)境監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體特氣、電力能源、石油天然氣、航空航天、催化材料、農(nóng)林畜牧、生態(tài)研究等領(lǐng)域的ppm,ppb,ppt級(jí)微量氣體分析與測(cè)量,并提供相應(yīng)的氣體分析解決方案。

為各大高校、科研院所、國(guó)有大型企業(yè)、高科技企業(yè)、檢驗(yàn)監(jiān)督等單位提供可靠準(zhǔn)確的測(cè)試測(cè)量產(chǎn)品與服務(wù)。主要產(chǎn)品有:在線砂量監(jiān)測(cè)儀、含砂分析儀、砂石監(jiān)測(cè)儀、溫室氣體通量觀測(cè)系統(tǒng)、煤自燃監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、潔凈室AMC空氣分子污染物檢測(cè)系統(tǒng)、溫室氣體通量觀測(cè)系統(tǒng)、痕量級(jí)多氣體分析儀、微量氨氣分析儀,光聲光譜多氣體分析儀,激光光聲光譜氣體分析儀,激光氨氣氣體分析儀,油品分析儀,變壓器油中氣體分析儀,光聲光譜氣體分析儀,增強(qiáng)離子遷移譜氣體分析儀,在線傅里葉紅外氣體分析儀,便攜式微量多氣體分析儀,光聲光譜微量多氣體分析儀,便攜式油中氣體分析儀,光聲光譜溫室氣體分析儀,激光微量氣體分析儀,激光氨氣分析儀,空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng),電池?zé)崾Э刈匀急O(jiān)測(cè)系統(tǒng),通風(fēng)效率測(cè)量系統(tǒng),示蹤氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等。

光聲光譜多氣體分析儀,空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng),溫室氣體通量在線觀測(cè)系統(tǒng),煤礦自燃火災(zāi)束管監(jiān)測(cè)系統(tǒng),傅里葉紅外氣體分析儀,光聲光譜HF分析儀,激光氨氣分析儀,含砂量測(cè)定儀,燃?xì)馊M份分析儀,標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)
AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。
AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

獵戶(hù)座3100系統(tǒng):空氣分子污染物(AMC)監(jiān)測(cè)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染(AMC )對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要。

快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類(lèi)、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類(lèi)等濃度測(cè)量,當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí),將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過(guò)程太復(fù)雜,昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。


AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

CEAS (腔增強(qiáng)吸收光譜)---原理

基于CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù)的儀器原理圖,使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量,測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成,激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器(FSR=2.00GHz)時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。

AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


EP增強(qiáng)型版本集成了壓力傳感器和內(nèi)部溫度控制器,具有超穩(wěn)定性測(cè)量腔室,防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差。

       CEAS(腔增強(qiáng)吸收光譜)相比于第一代的CRDS(腔衰蕩光譜)技術(shù),有許多已被證明的優(yōu)勢(shì)。簡(jiǎn)而言之,激光束不需要 共振耦合進(jìn)入測(cè)量腔室(例如光束不需要嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn))。DUKE分析儀器和系統(tǒng)具有天生安裝簡(jiǎn)單、機(jī)械牢固、防護(hù)結(jié)實(shí)等特點(diǎn)。



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