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空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

參考價(jià)	￥ 500000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京杜克泰克科技有限公司
品牌杜克泰克
型號(hào)獵戶座 310
所在地北京市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2026/3/17 13:45:45
訪問(wèn)次數(shù)2944

產(chǎn)品標(biāo)簽:

AMC監(jiān)測(cè)AMC在線監(jiān)測(cè)空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)空氣分子污染物監(jiān)測(cè)儀潔凈室微量氣體監(jiān)測(cè)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京杜克泰克科技有限公司，是一家專注于痕量級(jí)微量級(jí)氣體、液體、固體等介質(zhì)含量分析的科技公司，尤其是光聲光譜技術(shù)（PAS）、傅里葉紅外光譜技術(shù)(FTIR)、紫外差分吸收光譜等光電技術(shù)的應(yīng)用，致力于環(huán)境監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體特氣、電力能源、石油天然氣、航空航天、催化材料、農(nóng)林畜牧、生態(tài)研究等領(lǐng)域的ppm，ppb，ppt級(jí)微量氣體分析與測(cè)量，并提供相應(yīng)的氣體分析解決方案。

為各大高校、科研院所、國(guó)有大型企業(yè)、高科技企業(yè)、檢驗(yàn)監(jiān)督等單位提供可靠準(zhǔn)確的測(cè)試測(cè)量產(chǎn)品與服務(wù)。主要產(chǎn)品有：溫室氣體通量觀測(cè)系統(tǒng)、煤自燃監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、潔凈室AMC空氣分子污染物檢測(cè)系統(tǒng)、溫室氣體通量觀測(cè)系統(tǒng)、痕量級(jí)多氣體分析儀、微量氨氣分析儀等。

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光聲光譜多氣體分析儀,空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng),溫室氣體通量在線觀測(cè)系統(tǒng),煤礦自燃火災(zāi)束管監(jiān)測(cè)系統(tǒng),傅里葉紅外氣體分析儀,光聲光譜氟化氫分析儀,激光氨氣分析儀,含砂量測(cè)定儀,燃?xì)馊M份分析儀,標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí)，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

獵戶座3100系統(tǒng)：完善的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染（AMC ）對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要。

快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸類等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng) 時(shí)，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過(guò)程太復(fù)雜，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。

空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

CEAS （腔增強(qiáng)吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。